Number of the records: 1
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém
- 1.Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav - Kapran, Anna - Hubička, Zdeněk - Poruba, A. - Dolák, J.
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém.
[Optimized surfatron plasma source for PE-ALD deposition system.]
Internal code: FVMF1/FZU/2020 ; 2020
Technical parameters: Vnější průměr křemenné trubičky: 6 mm, vnitřní průměr křemenné trubičky: 4 mm, výstupní tryska: kónická tryska, typ surfatron: mosazný rezonátor typu SAIREM s integrovanou přizpůsobovací jednotkou.
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
http://hdl.handle.net/11104/0314808
Number of the records: 1