Koloidní difuzní zdroj fosforu pro přípravu dotovaného křemíku typu N

Mrázek, Jan
Koloidní difuzní zdroj fosforu pro přípravu dotovaného křemíku typu N.
[Colloidal diffuse source of phosphorus for preparing doped of the type N silicon.]
2019. Owner: Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR, v. v. i. Date of the utility model acceptance: 10.06.2019. Utility model number: 32924
OECD category: Electrical and electronic engineering
http://hdl.handle.net/11104/0307886