Low Energy Electron Microscopy in Materials Science

0315458 - ÚPT 2009 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Müllerová, Ilona - Matsuda, K. - Frank, Luděk
Low Energy Electron Microscopy in Materials Science.
[Nízko energiová elektronová mikroskopie v materiálových vědách.]
Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2008 - (Mika, F.), s. 85-86. ISBN 978-80-254-0905-3.
[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./. Skalský dvůr (CZ), 14.07.2008-18.07.2008]
R&D Projects: GA MŠMT OE08012
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : collection efficiency * cathode lens mode * material contrast
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

The collection efficiency and the amplification of the detector of reflected electrons in the scanning electron microscope were remarkably improved by the use of the cathode lens in the specimen region. Strong contrast appears e.g. in the superconductive composite material or precipitates.

Sběrová účinnost detektoru zpětně odražených elektronů a jeho zesílení byly významně zvýšeny použitím katodové čočky v oblasti vzorku v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Je tak možné pozorovat silný kontrast např. supravodivých kompozitních materiálů či precipitátů.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0165656