Number of the records: 1

Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury

SYSNO	0094701
Title	Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury
Title	Electron-beam writing system for diffractive optical elements
Author(s)	Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, František (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Issue data	2006
Int.Code	65701
Result owner	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Technical parameters	Urychlovací napětí elektronové trysky 15 kV.
Economic parameters	Elektronový litograf BS601M byl nainstalován ve firmě Optaglio v červenci roku 2006 kde nahradil obdobné zastaralé zařízení s horšími parametry.
Document Type	Poloprovoz, ověřená technol., odrůda, plemeno
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Language	cze
Country	CZ
Keywords	electron beam writing system * diffractive optical element
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0154449

Number of the records: 1