Number of the records: 1  

Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury

  1. 1.
    Horáček, Miroslav - Matějka, František - Kolařík, Vladimír
    Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury.
    [Electron-beam writing system for diffractive optical elements.]
    Internal code: 65701 ; 2006
    Technical parameters: Urychlovací napětí elektronové trysky 15 kV.
    Economic parameters: Elektronový litograf BS601M byl nainstalován ve firmě Optaglio v červenci roku 2006 kde nahradil obdobné zastaralé zařízení s horšími parametry.
    http://hdl.handle.net/11104/0154449
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.