Vliv vrstev nitridu křemíku na difuzní délku minoritních nosičů v Si

0083128 - ÚFE 2007 CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Toušek, J. - Toušková, J. - Poruba, A. - Bařinka, R. - Hlídek, P. - Lorinčík, Jan
Vliv vrstev nitridu křemíku na difuzní délku minoritních nosičů v Si.
[Effect of silicon nitride layers on the minority carrier diffusion length in c-Si wafers.]
2. Česká fotovoltaická konference. Sborník příspěvků. Rožnov pod Radhoštěm: Czech RE Agency, 2006, s. 72-75. ISBN 80-239-7361-4.
[Česká fotovoltaická konference /2./. Brno (CZ), 12.06.2006-14.06.2006]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20670512
Keywords : solar cells * hydrogen * plasma
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism

Hlavním cílem práce bylo porovnání nitridu křemíku připraveného metodami LP CVD a MW PE CVD ze silanu a čpavku s ohledem na možnost pasivace c-Si povrchových vrstev. Vlastnosti vrstev nitridu křemíku byly studovány metodami SPV, FTIR a SIMS. Průměrná hodnota difuzní délky minoritních nosičů v Si vzorcích s LP CVD nitridem byla kratší a závisela na místě v reaktoru.

The main purpose of this work was the comparison of the silicon nitride prepared by the LP CVD and by the MW PE CVD from silane and ammonia gases with respect to the possibility of passivation c-Si surface layer. The properties of the silicon nitride films were studied by the surface photovoltage (SPV), FTIR and SIMS methods. The average value of the diffusion length of minority carriers in the Si samples with the LP CVD nitride was shorter and dependent on the location in the reactor.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0146479