Number of the records: 1
Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm
- 1.
SYSNO 0573585 Title Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm Author(s) Mrňa, Libor (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hopp, J. (CZ)
Horák, S. (CZ)
Stoklasa, B. (CZ)
Úlehla, L. (CZ)Issue data 2022 Subspecies Functional Specimen Int.Code APL-2022-38 Technical parameters Výsledkem je design funkčního vzorku a funkční vzorek f-theta objektivu s difraktivním prvkem pro korekci chromatické aberace. Economic parameters Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: doc. RNDr. Libor Mrňa, Ph.D, mrna@isibrno.cz. Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., Meopta - optika, s.r.o. Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR), CZ - Czech Republic Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Language eng Country CZ Keywords F-theta objective * Laser micromachining * Diffractive optical element * Pulsed high-power laser * Chromatic aberration correction Cooperating institutions Meopta - optika, s.r.o., Přerov (Czech Republic) Permanent Link https://hdl.handle.net/11104/0344001
Number of the records: 1