Zařízení pro měření drsnosti optických povrchů

0537041 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Šarbort, Martin - Holá, Miroslava - Schovánek, P. - Řeřucha, Šimon - Oulehla, Jindřich - Lazar, Josef - Číp, Ondřej
Zařízení pro měření drsnosti optických povrchů.
[Roughness measurement device for optical surfaces.]
Internal code: APL-2020-14 ; 2020
Technical parameters: Rozsah X-Z skenování dx=200 mikronů s krokem 10 nm, dz=-+10mikronů s krokem 1nm, statické konfigurace senzoru pro měření drsnosti (axicon, wedge, 4-point) a dynamická konfigurace (prostorový modulátor světla). Nejistota měření < 1 mikrometr.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: prof. Ing. Josef Lazar, Dr., joe@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : rughness measurement * optical metrology * optical surfaces * cross-section scanning
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)

Experimentální sestava pro pilotní ověření parametrů nové metody pro měření drsnosti povrchů metodou detekce zaostření svazku. Aparát zahrnuje zobrazovací jednotku těsně provázanou s technikami digitálního zpracování signálů a velmi přesným mechanismem pro dvouosé X-Z polohování. Modulární architektura umožňuje využít statické varianty inspekce povrchu nebo dynamickou variantu měření. Systém posuvu sensoru drsnosti umožňuje rozsah skenování 200 mikrometrů a hloubku skenu +- 10 mikrometrů.

Experimental assembly for the pilot characterization of the novel surface topography technique, based on different configuration of the imaging arrangement. The apparatus integrates the optical imaging unit performance in conjunction with the digital processing techniques and precise X-Z translation mechanism. The modular architecture allows for several variants of the surface topography measurement configuration with interchangeable static arrangements or a dynamic arrangement of the measurement. The positioning system of the roughnes measuring sensor enables the X-Z cross-section scanning in 200 micrometer range with +- 10 micrometer range depth.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314796