Miniaturizovaný analyzátor sekundárních elektronů

0517195 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Dupák, Libor - Pokorná, Zuzana
Miniaturizovaný analyzátor sekundárních elektronů.
[Miniaturized secondary electron analyser.]
Internal code: APL-2019-19 ; 2019
Technical parameters: Funkční vzorek byl vyroben s cílem ověřit vlastnosti návrhu a konstrukce miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů umístitelného dovnitř komory rastrovacího elektronového mikroskopu přímo na manipulátor vzorku. Spektrometr obsahuje ve směru průletu elektronů tyto prvky: vzorek, elektrodu vymezující úhlový rozsah diagnostikovaných elektronů, dvojici elektrod toroidního tvaru, napěťový a detekční systém. Energie primárního svazku: 2 keV, energie zkoumaných elektronů 0–50 eV, výška 28 mm, průměr 35 mm
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika Ph.D., mika@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR TG03010046
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : secondary electron * energy filtering * toroidal analyser
OECD category: Coating and films

Spektrometr sekundárních elektronů podle technického řešení je uzpůsoben pro použití v libovolném rastrovacím elektronovém mikroskopu. Inovativnost spočívá v miniaturizovaném řešení, kdy spektrometr je umístěn na manipulátoru vzorku. Jeho malá výška umožňuje, aby celý analytický systém byl umístěn v prostoru pod objektivovou čočkou rastrovacího elektronového mikroskopu, obvykle vyhrazeném pro vyšší vzorky.

The Secondary electron analyzer according to the submitted technical specifications is designed for use in any scanning electron microscope. It is miniaturized enough to be located on the sample manipulator. Its height is low enough to allow the entire system to fit underneath the objective lens of the scanning electron microscope, in the space usually reserved for taller samples.


Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0302484