Simulace elktronově optických systémů s vysokým proudem ve svazku

0481767 - ÚPT 2018 RIV CZ cze J - Journal Article
Zelinka, Jiří - Oral, Martin - Radlička, Tomáš
Simulace elktronově optických systémů s vysokým proudem ve svazku.
[Simulation of electron-optical system with high beam current.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 62, č. 10 (2017), s. 266-269. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : space charge * electron emission * self-consistent simulation * aberation polynomial
OECD category: Particles and field physics

Předkládáme popis elektronově optických systémů s vysokým proudem ve svazku a metod, které se používají pro jejich simulaci. Blíže se pak zaměříme na algoritmus vyvinutý na Ústavu přístrojové techniky, který je použitelný ve všech oblastech simulovaného systému od povrchu katody až po pracovní rovinu. Bezprostřední okolí katody je simulováno známou metodou particle-in-cell, zatímco ve zbytku systému se k výpočtu rozložení hustoty prostorového náboje využívá nová metoda založená na vyhodnocení aberačního polynomu.

The methods used for simulation of electron-optical systems with high beam current are briefly summarized, with the focus on the methods used at the Institute of Scientific Instruments of the Czech Academy of Sciences. It is possible to apply these methods on the entire electron optical system from the cathode surface to the working plane. The vicinity of the cathode is simulated with the particle-in-cell method, and the rest of the system is treated using our novel method based on the evaluation of an aberration polynomial. This method provides a significant improvement in accuracy of the computation without higher requirements on the computation time.


Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0277305