Number of the records: 1

Plazmatická příprava tlustých kovových vrstev pro mechanické rytí blejzovaných difrakčních mřížek

SYSNO ASEP	0457255
Document Type	V - Research Report
R&D Document Type	V - Research Report
Title	Plazmatická příprava tlustých kovových vrstev pro mechanické rytí blejzovaných difrakčních mřížek
Title	Plasma preparation of thick metal layers for mechanical engraving of blazed diffraction gratings
Author(s)	Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID}
Issue data	Praha: API Optix s.r.o., 2015
Number of pages	4 s.
Publication form	Print - P
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	magnetron sputtering ; thin films ; surface properties
Subject RIV	BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Next source	Non-public resources
Annotation	Smluvní výzkum byl zaměřen přípravu a optimalizaci procesu depozice vybraných tlustých kovových vrstev o tloušťce 5 až 10 µm na leštěné skleněné substráty. Ze strany zadavatele byl kladen důraz zejména na mechanické vlastnosti vrstev: adheze, porozita, homogenita, tvrdost a časová stálost.
Description in English	Contract research was focused on preparation and optimization of the deposition process of the selected thick metal layers with a thickness 5 to 10 microns on a polished glass substrates. The emphasis was mainly on the mechanical properties of films: adhesion, porosity, homogeneity, hardness and time stability.
Workplace	Institute of Physics
Contact	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Year of Publishing	2016

Number of the records: 1