Zařízení pro povlakování vnitřních dutin malého příčného průřezu a velkých podélných rozměrů metodou magnetronového naprašování

0455635 - FZÚ 2016 RIV cze P - Patent Document
Rouček, V. - Bulíř, Jiří - Lančok, Ján - Novotný, Michal
Zařízení pro povlakování vnitřních dutin malého příčného průřezu a velkých podélných rozměrů metodou magnetronového naprašování.
[Apparatus for coating internal cavities of small cross section and large longitudinal dimensions using magnetron-sputtering method.]
2015. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., Praha 8, CZ- TESLA Electrontubes s.r.o., Říčany, CZ. Date of the patent acceptance: 02.12.2015. Patent Number: 305631
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TA03010490; GA MŠMT(CZ) LM2011029; GA MŠMT(CZ) LO1409
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : magnetron sputtering * cavities
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10053597&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=

Zařízení pro povlakování vnitřních dutin malého příčného průřezu a velkých podélných rozměrů metodou magnetronového naprašování je určeno k vytváření tenkých vrstev na vnitřních plochách výrobků s dutinami malých příčných průřezů. Zařízení je určeno k vytváření tenkých povlaků v dlouhých dutinách malých příčných rozměrů. Uplatní se pro úpravu součástek pro mikrovlnnou techniku, zdravotnictví, leteckou techniku, chemický průmysl, potravinářský průmysl a další obory.

Device for coating internal cavities of small cross section and large longitudinal dimensions by means of magnetron sputtering method is used for forming of thin films on the inner surfaces of cavities with small cross-sections.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0256260