Number of the records: 1
Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm
- 1.
SYSNO 0336589 Title Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm Title E-Beam Writing Technology with Variable Beam Size of 66 - 2100 nm Author(s) Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, František (UPT-D) RID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lencová, Bohumila (UPT-D) RID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Král, Stanislav (UPT-D) RID, SAI
Urbánek, Michal (UPT-D) RID
Mikšík, P. (CZ)
Vašina, J. (CZ)
Horák, R. (CZ)Issue data 2009 Subspecies Ověřená technologie Int.Code 162 410 Result owner Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Technical parameters Proudová hustota ve svazku (min – střed - max): 1,8 – 3,6 – 14,4 A/cm2. Otočení souřadnic tvarování, vychylování a posuvu substrátu: -45 stupňů. Economic parameters Desetkrát vyšší proudová hustota umožňuje zvýšit základní expoziční dobu až desetkrát, což má přímý vliv na produktivitu. Zmenšení velikosti svazku umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení, což umožňuje realizovat struktury dříve nerealizovatelné. Document Type Poloprovoz, ověřená technol., odrůda, plemeno Grant FR-TI1/576 GA MPO - Ministry of Industry and Trade (MPO) Language cze Country CZ Keywords electron beam lithography * shaped electron beam Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0180792
Number of the records: 1