Composition and functional properties of organosilicon plasma polymers from hexamethyldisiloxane and octamethylcyclotetrasiloxane

0324933 - ÚJF 2009 RIV US eng C - Conference Paper (international conference)
Zajíčková, L. - Kučerová, Z. - Buršíková, V. - Franta, D. - Peřina, Vratislav - Macková, Anna
Composition and functional properties of organosilicon plasma polymers from hexamethyldisiloxane and octamethylcyclotetrasiloxane.
[Složení a funkční vlastnosti organokřemíkových plasmových polymerů z hexametyldisiloxanu and octametylcyklotetrasiloxanu.]
ORGANIC/INORGANIC HYBRID MATERIALS - 2007. WARRENDALE: MATERIALS RESEARCH SOCIETY, 2008 - (Barbe, C.; Laine, R.; Sanchez, C.; Schubert, U.), s. 159-164. MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIUM PROCEEDINGS, 1007. ISBN 978-1-55899-967-1. ISSN 0272-9172.
[Symposium on Organic-Inorganic Hybrid Materials. San Francisco (US), 09.04.2007-13.04.2007]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10480505
Keywords : THIN-FILMS * HYBRID * POLYMER
Subject RIV: JI - Composite Materials

Hybrid organic-inorganic thin films with different fractions of silicon oxide were deposited in rf capacitively coupled discharges using pure hexamethyldisiloxane (HMDSO), octamethylcyclotetrasiloxane (D4) or 5 % HMDSO in O-2.

Hybridní organicko-inorganické tenké vrstvy s různými frakcemi kysličníku křemíku byly deponovány v rf kapacitně vázaných výbojích s užitím čistého hexametyldisiloxanu (HMDSO), octametylcyklotetrasiloxanu (D4) nebo 5 % HMDSO v O-2.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0172514