Number of the records: 1
Electric probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for TiO.sub.x./sub. thin films deposition
- 1.
SYSNO 0324107 Title Electric probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for TiOx thin films deposition Title Sondové diagnostiky plazmatického tryskového systému s dutou katodou pro depozice tenkých vrstev TiOx. Author(s) Virostko, Petr (FZU-D)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Tichý, M. (CZ)Source Title International conference on phenomena in ionized gases- ICPIG /28./. S. 783-786. - Praha : Institute of Plasma Physics AS CR, 2007 / Schmidt J. ; Šimek M. ; Pekárek S. ; Prukner V. Conference International conference on phenomena in ionized gases - ICPIG /28./, Praha, 15.07.2007-20.07.2007 Document Type Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) Grant KAN400720701 GA AV ČR - Academy of Sciences of the Czech Republic (AV ČR) GA202/06/0776 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Language eng Country CZ Keywords probe diagnostics * Langmuir probe * hollow cathode * plasma jet Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0171892
Number of the records: 1