Number of the records: 1
Electric probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for TiO.sub.x./sub. thin films deposition
SYS 0324107 LBL 02745^^^^^2200361^^^450 005 20240103191609.7 100 $a 20090511d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a CZ 200 1-
$a Electric probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for TiOx thin films deposition 215 $a 4 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0098545 $1 010 $a 978-80-87026-01-4 $1 200 1 $a International conference on phenomena in ionized gases- ICPIG /28./ $v S. 783-786 $1 210 $a Praha $c Institute of Plasma Physics AS CR $d 2007 $1 702 1 $a Schmidt $b J. $4 340 $1 702 1 $a Šimek $b M. $4 340 $1 702 1 $a Pekárek $b S. $4 340 $1 702 1 $a Prukner $b V. $4 340 541 1-
$a Sondové diagnostiky plazmatického tryskového systému s dutou katodou pro depozice tenkých vrstev TiOx. $z cze 610 0-
$a probe diagnostics 610 0-
$a Langmuir probe 610 0-
$a hollow cathode 610 0-
$a plasma jet 700 -1
$3 cav_un_auth*0098250 $a Virostko $b Petr $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0234460 $a Kment $b Štěpán $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0236881 $a Adámek $b Petr $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100259 $a Jastrabík $b Lubomír $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ $4 070
Number of the records: 1