Solving Complex Electron Optical Problems with EOD

0315455 - ÚPT 2009 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Lencová, Bohumila
Solving Complex Electron Optical Problems with EOD.
[Řešení složitých elektronově optických problémů v EOD.]
Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2008 - (Mika, F.), s. 65-68. ISBN 978-80-254-0905-3.
[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./. Skalský dvůr (CZ), 14.07.2008-18.07.2008]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : electron optical design * electron mirror * hexapole corrector
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

The paper summarizes the possibilities of accurate computation of potential with the first order finite element method and highly accurate ray tracing in numerically computed fields, which were implemented in the EOD program. The use of the program is illustrated on the results of computation of third order aberration coefficients of an electrostatic mirror and by the computation of correctors of axial aberrations of electron microscopes.

Příspěvek provádí shrnutí možností přesného výpočtu potenciálu metodou konečných prvků prvního řádu a vysoce přesného trasování částic v numericky spočtených polích, jak bylo implementováno v programu EOD. Použití programu je ilustrováno na výsledcích výpočtu koeficientů vad třetího řádu elektrostatického elektronového zrcadla z výsledků trasování a výpočty korektorů osových vad elektronových mikroskopů.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0165654