Some properties of very thin Bi.sub.2./sub.Te.sub.3./sub. layers prepared by laser ablation

0105870 - URE-Y 20040035 RIV DE eng C - Conference Paper (international conference)
Zeipl, Radek - Pavelka, Martin - Jelínek, Miroslav - Chval, Jindřich - Lošťák, P. - Žďánský, Karel - Vaniš, Jan - Karamazov, S. - Vacková, S. - Walachová, Jarmila
Some properties of very thin Bi₂Te₃ layers prepared by laser ablation.
[Některé vlastnosti velmi tenkých Bi₂Te₃ vrstev připravených laserovou ablací.]
Proceedings 6th International Workshop on Expert Evaluation & Control of Compound Semiconductor Materials & Technologies - EXMATEC'2002. Weinheim: WileyVCH Verlag, 2003 - (Stutzmann, M.), s. 867-871. Physica Status Solidi, Conferences, 0.3.2003. ISBN 3-527-40436-8.
[EXMATEC 2002 - International Workshop on Expert Evaluation & Control of Compounds Semiconductor Materials & Technologies /6./. Budapest (HU), 26.05.2002-29.05.2002]
R&D Projects: GA ČR GA202/02/0098
Institutional research plan: CEZ:AV0Z2067918
Keywords : field emission electron microscopy * thermoelectric devices
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

The 60nm thick layers of Bi₂Te₃ were prepared by laser ablation in vacuum using the KrF excimer laser. The energy of laser varied from 300 mJ - 680 mJ and the laser energy density from 2 J/cm² - 10 J/cm². The substrate temperature varied for different depositions in the inteup.val 20^oC - 480^oC. The influence of preparation conditions on Hall mobility, concentration of charged carriers and conductivity at room temperature is presented. Information about morphology and composition of prepared layers is given.

Pomocí laserové ablace s užitím KrF excimerového laseru byly ve vakuu připraveny 60nm tlusté vrstvy Bi ₂Te₃. Energie laseru se měnila v rozsahu 300mJ-680mJ a hustota energie laserového svazku 2J/cm²–10J/cm². Teplota substrátu se pro různé vzorky měnila v intervalu 20-480°C. Vliv depozičních podmínek na Hallovu pohyblivost, koncentraci nosičů a vodivost při pokojové teplotě je prezentována. Rovněž tak informace o morfologii a složení připravených vrstev.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0013058