Funkční vzorek bezkontaktního korekčního nástroje na principu fokusace IBF

0549777 - ÚFP 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Procháska, František - Karabyn, Vasyl - Vlček, Ivan - Zobač, Martin - Nejezchleb, K.
Funkční vzorek bezkontaktního korekčního nástroje na principu fokusace IBF.
[Functional sample of a non-contact correction tool based on focused IBF.]
Internal code: TN01000008/02-V009 ; 2021
Technical parameters: Délka nástroje = 43 mm, Průměr nástroje = 98 mm, Počet elektrod: 3, Pracovní vzdálenost: 5 mm, Rozsah napětí: + 0 až +1250 V (brzdný režim), Parametry iontového zdroje: Beam 1000 V, Acc -500 V, průtok plynu Ar 1,5 sccm, výkon RF zdroje 75 W
Economic parameters: Nejsou vyčísleny
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:61389021 ; RVO:68081731
Keywords : Ion beam figuring * Electrostatic lens * Ion beam focusing
OECD category: Materials engineering

Funkční vzorek elektrostatického fokusačního nástroje určený pro použití v iontových leštičkách. Iontový svazek vystupující z iontového zdroje je průchodem skrz fokusační nástroj působením elektrostatických čoček fokusován do leštícího spotu s pološířkou FWHM okolo 1 mm umožňují 3D korigování s velkým laterálním rozlišením. Napájení elektrostatických čoček je zabezpečeno vysokonapěťovým zdrojem stejnosměrného napětí s výkonem 25 W v rozmezí 0 až +1250 V (brzdný režim).

Functional sample of an electrostatic focusing tool designed for use in ion beam polishers. The ion beam leaving the ion source is focused at passing through focusing tool by the action of electrostatic lenses into a polishing spot with a FWHM of about 1 mm, allowing 3D correction with high lateral resolution. The power supply of electrostatic lenses is provided by a high-voltage DC source with a power of 25 W in the range of 0 to +1250 V (braking mode).
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0325686