Number of the records: 1
Litografická maska
- 1.
SYSNO ASEP 0544061 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Litografická maska Title Lithographic mask Author(s) Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Burda, Daniel (UPT-D)
Ondříšková, Martina (UPT-D)
Lalinský, Ondřej (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horodyský, P. (CZ)Year of issue 2021 Int.Code APL-2021-03 Technical parameters Základními technickými parametry jsou perioda mřížky a procentuální pokrytí maskovací vrstvy. Economic parameters Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Bc. Jana Chlumská, chlumska@isibrno.cz Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68081731 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč License fee fee A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., APL-2021-03 Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords electron beam lithography ; photomask Subject RIV BH - Optics, Masers, Lasers OECD category Optics (including laser optics and quantum optics) R&D Projects TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Pomocí elektronové litografie byla připravena šablona pro fotolitografickou přípravu tenké vodivé mřížky na nevodivé podložce s využitím v elektronové mikroskopii. Description in English A photo mask was prepared using electron–beam lithography. The mask was used for the preparation of a thin conductive grid on a non-conductive substrate by photolithography. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2022
Number of the records: 1