Number of the records: 1
Anulární apertury pro skenovací elektronový mikroskop
- 1.
SYSNO ASEP 0536666 Document Type O - Others R&D Document Type Others Title Anulární apertury pro skenovací elektronový mikroskop Title Annular aperture for Scanning electron microscope Author(s) Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Oral, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Řiháček, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID
Seďa, B. (CZ)
Vašina, R. (CZ)Number of authors 5 Year of issue 2020 Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords annular aperture ; scanning electron microscopy ; resolution ; denoising Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering OECD category Electrical and electronic engineering R&D Projects TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Vědecká zpráva popisující možnosti aplikace anulárních apertur v rastrovací elektronové mikroskopii. Je diskutován jejich vliv na profil svazku a rozlišení. Ukázali jsme, že se výrazně odlišuje hodnota rozlišení pro Rayleigho kritériun a pro standardně používané rozlišení dané průměrem oblasti proudového profilu, která obsahuje 50% proudu. Pomoci simulace obrazu jsme zjistily, že v případě anulárního osvětlení jsou patrné větší detaily obrazu, ale výrazně se zvýší šum v obraze. Simulace obrazu byly použity jako vstup pro algoritmus strojového učení, který umožňuje redukci šumu na úroveň kruhových clon za současného zachování jemnějších detailů, které poskytuje anulární osvětlení. Description in English The research report describes the application of the annular apertures in scanning electron microscopy. We studied the effect of the annular illumination on current beam density profiles and the system's resolution. We showed that the value of resolution differs for the Rayleigh criterion and 50% fraction current criterion. Using image simulation, we find out that annular illumination provides more details of the image, but noise increases. We used the image simulation results as input for the denoising algorithm based on the machine learning approach. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2021
Number of the records: 1