Number of the records: 1
Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition
SYS 0494371 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103220623.4 014 $a 000450591400022 $2 WOS 017 $2 DOI 100 $a 20181011d m y slo 03 ba 101 $a eng $d eng 102 $a CZ 200 1-
$a Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition 215 $a 2 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0494358 $1 010 $a 978-80-87441-23-7 $1 200 1 $a Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar $v S. 60-61 $1 210 $a Brno $c Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences $d 2018 610 $a thermal desorption spectroscopy 610 $a CVD 610 $a surface cleaning 610 $a silicon 700 -1
$3 cav_un_auth*0365384 $a Průcha $b Lukáš $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $z K $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0324291 $a Daniel $b Benjamin $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $y GB $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0308850 $a Piňos $b Jakub $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258032 $a Mikmeková $b Eliška $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1