Number of the records: 1
Performances of microwave plasma generation in linear antenna configuration
- 1.
SYSNO 0424334 Title Performances of microwave plasma generation in linear antenna configuration Author(s) Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Rezek, Ondřej (FZU-D)
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Varga, Marián (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAISource Title Perspektívne vákuové metódy a technológie (Perspective vacuum methods and technologies). S. 42-46. - Bratislava : Slovenská vákuová spoločnosť, 2013 / Vojs M. ; Veselý M. ; Vincze A. Conference School of Vacuum Technology /16./ (Perspektívne vákuové metódy a technológie. Perspective vacuum methods and technologies), Štrbské Pleso, 10.10.2013-13.10.2013 Document Type Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) Grant TA01011740 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) GAP205/12/0908 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Language eng Country SK Keywords microwave plasma * linear antena * CVD deposition Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0230415
Number of the records: 1