Number of the records: 1

Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM

SYSNO	0566540
Title	Kalibrační standard pro metodu spektroskopii sekundárních elektronů v SEM
Title	Calibration standard sample for secondary electron spectroscopy in SEM
Author(s)	Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Pokorná, Zuzana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Issue data	2022
Subspecies	Functional Specimen
Int.Code	APL-2022-11
Technical parameters	Kalibrační vzorek obsahující mikrometrové struktury s různých materiálů vykazující odlišnou emisivitu sekundárních elektronů. Tloušťka jednotlivých materiálů je 150um a šířka proužků ze stříbra a chromu je 2 respektive 1 um.
Economic parameters	Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D.
Owner Name	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Document Type	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR), CZ - Czech Republic
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731
Language	cze
Country	CZ
Keywords	test sample * scanning electron microscope * secondary electron spectrometer
Permanent Link	https://hdl.handle.net/11104/0337867

Number of the records: 1