Number of the records: 1

Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií

SYSNO ASEP	0566395
Document Type	L - Prototype, Functional Specimen
R&D Document Type	Prototype, Functional Specimen
RIV Subspecies	Functional Specimen
Title	Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií
Title	Graphene Foil Lens Corrector
Author(s)	Vašina, R. (CZ) Seďa, B. (CZ) Radlička, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Řiháček, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID}
Year of issue	2022
Int.Code	APL-2022-16
Technical parameters	Korektor sférické aberace a jeho integrace do mikroskopu Apreo. Jeho základní částí je elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál a dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií, která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole. Integrace do mikroskopu Apreo zahrnuje nový kondenzorový sytém a nový mechanizmus pro měření aberací založený na 2D pixelovém detektoru TimePix.
Economic parameters	Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
Owner Name	Ústav přístrojové techniky, v. v. i., ThermoFisher Scientific Brno, a.s.
Registration Number of the result owner	68081731
Applied result category by the cost of its creation	A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
License fee fee	Z - Poskytovatel licence nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no.,	APL-2022-16
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	scanning electron microscope ; corrector of sperical aberration ; resolution ; graphene foil ; TimePix detector
Subject RIV	JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
OECD category	Electrical and electronic engineering
R&D Projects	TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR)
Institutional support	UPT-D - RVO:68081731
Annotation	Jedná se o novou generaci korektoru sférické aberace, který je optimalizovaný skenovací elektronový mikroskop Apreo včetně jeho integrace do tubusu primárního svazku. Princip korekce využívá diskontinuity elektrostatického pole na grafénové folii, čímž obchází podmínky Scherzerova theoremu. Při správném nastavení zbytku systému je pak možné zcela korigovat sférickou aberaci třetího řádu, aniž by došlo ke zhoršení jiných parametrů mikroskopu. Integrace korektoru do mikroskopu Apreo je a) nový kondensorový systém, který zaručuje nastavení optimálního aperturního úhlu a zvětšení, které v případě zobrazování s grafénovým korektorem výrazně odlišuje od standardního režimu, b) Mechanizmus pro měření aberací založený na 2D pixelovém detektoru.
Description in English	The functional sample describes a new generation of Graphene foil lens corrector optimized for scanning electron microscope Apero including the integration into the primary beam-column. The principle of correction utilizes electrostatic field discontinuity to overcome Scherzer’s theorem. In the case of the correct regime of the condenser system and objective lens, it corrects the spherical aberration of the whole microscope without perturbing other electron-optical properties. Corrector integration covers: a) a new condenser system that enables setting correct aperture angle and magnification which differs from the standard regime without a corrector, b) a new system for aberration measurement based on the 2D pixelized detector.
Workplace	Institute of Scientific Instruments
Contact	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Year of Publishing	2023

Number of the records: 1