Number of the records: 1
Optimalizované multivrstvé plazmatické povlaky vnitřních prostor dlouhých trubic
- 1.
SYSNO 0550774 Title Optimalizované multivrstvé plazmatické povlaky vnitřních prostor dlouhých trubic Title Optimized multilayer plasma coatings of interiors of long tubes Author(s) Straňák, V. (CZ)
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Kohout, Michal (FZU-D) RID, ORCID
Jetmar, Tomáš (FZU-D)
Šmíd, Jiří (FZU-D)
Sezemský, P. (CZ)
Rozhoň, P. (CZ)
Čurda, P. (CZ)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čtvrtlík, R. (CZ)
Hrabovský, M. (CZ)
Schovánek, P. (CZ)Issue data 2021 Subspecies Functional Specimen Int.Code FVNCK2/FZU-JU-UPOL/2021 Technical parameters Ohřev povlakované trubice: výkon: 4x120W lineární halogenová žárovka max teplota: 500 st C b) RF výboj - výkon: dle podmínek 50 – 200 W - frekvence: 13.56 MHz - indukční oddělení: feritový transformátor, rezonanční vzduchový transformátor c) HiPPS výboj - pulzní modulace: 1000 Hz opakovací frekvence, 100 μs šířka pulzu - střední dc výkon: 150 W (při napětí v pulzu cca – 330 V) d) depoziční proces - tlak:1 Pa (v depoziční komoře) - průtok plynu: cca 100 sccm (celkový průtok) - pracovní plyn:směs argonu a dusíku Ar/N2 = 100/0 – 50/50 - teplota katody: 800 – 1250 0C - depozit: Cr/CrN/CrN Maximální tvrdost povlaku: 11.5 GPa Maximání mechanické zatížení (scratch test): 450 mN. Economic parameters Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum. Owner Name Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích, Přírodovědecká fakulta - Přírodovědecká fakulta UPOL Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., FVNCK2/FZU-JU-UPOL/2021 Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TN01000038 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Language cze Country CZ Keywords thin films * multilayers * hard coating * hollow cathode discharge * hardness * deposition Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0326097
Number of the records: 1