Number of the records: 1

SMV-2019-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM

SYSNO	0518131
Title	SMV-2019-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Title	SMV-2019-06: Development of test specimens for SEM
Author(s)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Issue data	Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2019
Document Type	Výzkumná zpráva
Grant	Non-public resources
Language	cze
Country	CZ
Keywords	calibration specimen * relief structure * e-beam lithography * silicon etching * microlithography
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0303306

Number of the records: 1