Number of the records: 1

SMV-2019-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM

SYSNO ASEP	0518131
Document Type	V - Research Report
R&D Document Type	V - Research Report
Title	SMV-2019-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Title	SMV-2019-06: Development of test specimens for SEM
Author(s)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Number of authors	8
Issue data	Brno: TESCAN Brno s.r.o., 2019
Number of pages	4 s.
Publication form	Print - P
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	calibration specimen ; relief structure ; e-beam lithography ; silicon etching ; microlithography
Subject RIV	BH - Optics, Masers, Lasers
OECD category	Nano-processes (applications on nano-scale)
Next source	Non-public resources
Annotation	Smluvní výzkum se týká vývoj v oblasti přípravy přesných reliéfních struktur v křemíku určených pro testování zobrazování v rastrovacích elektronových mikroskopech (REM). Pro přípravu preparátů jsou vyvíjeny mikro litografické techniky opracování křemíku a další související technologické postupy.
Description in English	Contract research is concerned with the development of precision relief structures in silicon for testing of scanning electron microscopy (REM) imaging. Micro lithographic techniques for silicon processing and other related technological processes have been developed for the calibration specimen preparation.
Workplace	Institute of Scientific Instruments
Contact	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Year of Publishing	2020

Number of the records: 1