Number of the records: 1
Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm
- 1.
SYSNO ASEP 0573585 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm Author(s) Mrňa, Libor (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hopp, J. (CZ)
Horák, S. (CZ)
Stoklasa, B. (CZ)
Úlehla, L. (CZ)Year of issue 2022 Int.Code APL-2022-38 Technical parameters Výsledkem je design funkčního vzorku a funkční vzorek f-theta objektivu s difraktivním prvkem pro korekci chromatické aberace. Economic parameters Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: doc. RNDr. Libor Mrňa, Ph.D, mrna@isibrno.cz. Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., Meopta - optika, s.r.o. Registration Number of the result owner 68081731 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč License fee fee N - Poskytovatel licence nepožaduje licenční poplatek Language eng - English Country CZ - Czech Republic Keywords F-theta objective ; Laser micromachining ; Diffractive optical element ; Pulsed high-power laser ; Chromatic aberration correction Subject RIV JR - Other Machinery OECD category Mechanical engineering R&D Projects TN01000008 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Design, tolerancing and manufacturing solution of Telecentric F-theta objective with diffraction optical element for chromatic aberration correction in DUV spectral region and with resistant coatings for high power lasers systems. The final manufactured product from Meopta´s design and analysis phase will be used in ISI Brno for further testing of design functionality in micromachining applications. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2024
Number of the records: 1