Number of the records: 1
Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm
- 1.Mrňa, Libor - Kolařík, Vladimír - Hopp, J. - Horák, S. - Stoklasa, B. - Úlehla, L.
Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm.
Internal code: APL-2022-38 ; 2022
Technical parameters: Výsledkem je design funkčního vzorku a funkční vzorek f-theta objektivu s difraktivním prvkem pro korekci chromatické aberace.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: doc. RNDr. Libor Mrňa, Ph.D, mrna@isibrno.cz.
OECD category: Mechanical engineering
https://hdl.handle.net/11104/0344001
Number of the records: 1