Number of the records: 1
Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm
SYS 0573585 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240402214144.3 100 $a 20230714d m y slo 03 ba 101 $a eng 102 $a CZ 200 1-
$a Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm 210 $d 2022 610 $a F-theta objective 610 $a Laser micromachining 610 $a Diffractive optical element 610 $a Pulsed high-power laser 610 $a Chromatic aberration correction 700 -1
$3 cav_un_auth*0280463 $a Mrňa $b Libor $p UPT-D $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherence Optics $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0400679 $a Hopp $b J. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0452192 $a Horák $b S. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0399989 $a Stoklasa $b B. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0342235 $a Úlehla $b L. $y CZ $4 070
Number of the records: 1