Způsob nanášení vrstev na senzorové platformy pro detekci plynů

0552570 - FZÚ 2022 RIV cze P - Patent Document
Bodnár, M. - Fitl, P. - Lančok, Ján - Novotný, Michal - Vrňata, M. - Hruška, M. - Vlček, J. - Bulíř, Jiří - Moravec, V.
Způsob nanášení vrstev na senzorové platformy pro detekci plynů.
[Method of applying layers on sensor platforms for detecting gas.]
2021. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - Vysoká škola chemicko-technologická v Praze - Tesla Blatná, a.s. Date of the patent acceptance: 03.11.2021. Patent Number: 309041
R&D Projects: GA MPO FV20350
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : chemoresitive sensor * thin films * plasma polymerisation * metal acetylacetonate * tin oxide
OECD category: Coating and films
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/309/309041.pdf

Řešení se týká způsobu výroby aktivních vrstev chemorezistivních senzorů oxidujících a redukujících plynů technikou plazmové polymerace a následné aktivace a stabilizace připravené vrstvy chemickou modifikací ve vhodném roztoku. Plazmová polymerace se přitom provádí pomocí magnetronového naprašování nebo napařování s RF aktivací prekurzoru. Zdrojovým materiálem pro plazmovou polymeraci je acetylacetonát určitého kovu - prekurzor, který je ve směsi s oxidem daného kovu, např. Sn-AcAc+SnO2 nebo In-AcAc+In2O3.

The solution is a method for producing active layers of chemoresistive oxidizing and reducing gas sensors by the plasma polymerization technique and the subsequent activation and stabilization of the prepared layer by chemical modification in a suitable solution. Plasma polymerization is carried out by magnetron sputtering or evaporation with RF activation of the precursor. The source material for plasma polymerization is an acetylacetonate of a certain metal - a precursor which is mixed with an oxide of a given metal, e.g. Sn-AcAc + SnO2 or In-AcAc + In2O3.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0327684