Number of the records: 1
ICP plazma zdroj
- 1.
SYSNO 0539967 Title ICP plazma zdroj Title ICP plasma source Author(s) Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Poruba, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)Issue data 2020 Subspecies Functional Specimen Int.Code FVMF2/FZU/2020 Technical parameters Vnější průměr vstupní části ICP zdroje: 6 mm. Vnitřní průměr vstupní části ICP zdroje: 4 mm. Vnější průměr pracovní části ICP zdroje: 25 mm. Vnitřní průměr pracovní části ICP zdroje: 23 mm. Economic parameters Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Owner Name Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., FVMF2/FZU/2020 Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TM01000039 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR), CZ - Czech Republic Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Language cze Country CZ Keywords inductively coupled plasma * Minimal Fab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0317650
Number of the records: 1