Number of the records: 1
Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů
- 1.
SYSNO 0537050 Title Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů Title Device for deposition rate increase in HiPIMS using pulse packages Author(s) Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hnilica, J. (CZ)
Klein, P. (CZ)
Vašina, P. (CZ)Issue data 2020 Subspecies Functional Specimen Int.Code FVNCK1/FZU/2020 Technical parameters Délka pulzu: 30 μs, vzdálenost mezi pulzy v balíčku: 20 μs, střída: 5 %, počet pulzů:4, pracovní tlak v reaktoru: 1 Pa Economic parameters Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Owner Name Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - Masarykova univerzita Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., FVNCK1/FZU/2020 Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TN01000038 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) Institutional support FZU-D - RVO:68378271 Language cze Country CZ Keywords sputtering * thin films * plasma * deposition * deposition rate * pulse package * ionization fraction Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0314801
Number of the records: 1