Number of the records: 1
Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů
- 1.Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Hnilica, J. - Klein, P. - Vašina, P.
Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů.
[Device for deposition rate increase in HiPIMS using pulse packages.]
Internal code: FVNCK1/FZU/2020 ; 2020
Technical parameters: Délka pulzu: 30 μs, vzdálenost mezi pulzy v balíčku: 20 μs, střída: 5 %, počet pulzů:4, pracovní tlak v reaktoru: 1 Pa
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
http://hdl.handle.net/11104/0314801
Number of the records: 1