Number of the records: 1
Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů
- 1.Čada, M., Hubička, Z., Hnilica, J., Klein, P., Vašina, P. Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - Masarykova univerzita, 2020. Functional Specimen FVNCK1/FZU/2020.
Number of the records: 1