Number of the records: 1
Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů
- 1.ČADA, M., HUBIČKA, Z., HNILICA, J., KLEIN, P., VAŠINA, P. Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - Masarykova univerzita, 2020. Functional Specimen FVNCK1/FZU/2020.
Number of the records: 1