Number of the records: 1
Slumping of Si wafers at high temperature
SYS 0481625 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103214955.8 014 $a 84880707914 $2 SCOPUS 014 $a 000329577700027 $2 WOS 017 $a 10.1117/12.2021586 $2 DOI 100 $a 20171120d m y slo 03 ba 101 $a eng $d ger 102 $a US 200 1-
$a Slumping of Si wafers at high temperature 215 $a 7 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0424965 $1 010 $a 9780819495792 $1 200 1 $a Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics IV; and EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space III $1 210 $a Bellingham $c SPIE $d 2013 $1 225 $a Proceedings of SPIE $v 8777 $1 702 1 $a Juha $b L. $4 340 $1 702 1 $a Bajt $b S. $4 340 $1 702 1 $a London $b R. $4 340 $1 702 1 $a Hudec $b R. $4 340 $1 702 1 $a Pína $b L. $4 340 610 $a silicon 610 $a x-ray telescope 610 $a thermal forming 700 -1
$3 cav_un_auth*0074339 $a Míka $b M. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0282727 $a Jankovský $b O. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0057212 $a Šimek $b P. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0353564 $a Lutyakov $b O. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0017403 $a Havlíková $b R. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0287052 $a Šofer $b Z. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0100026 $a Hudec $b René $i Stelární oddělení $j Department of Stellar Physics $p ASU-R $w Department of Stellar Physics - Team 2 $T Astronomický ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0016802 $a Pína $b L. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0018810 $a Inneman $b A. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0015576 $a Švéda $b L. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0259319 $a Maršíková $b V. $y CZ
Number of the records: 1