Number of the records: 1

Plazmatická příprava tlustých kovových vrstev pro mechanické rytí blejzovaných difrakčních mřížek

SYSNO	0457255
Title	Plazmatická příprava tlustých kovových vrstev pro mechanické rytí blejzovaných difrakčních mřížek
Title	Plasma preparation of thick metal layers for mechanical engraving of blazed diffraction gratings
Author(s)	Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID}
Issue data	Praha: API Optix s.r.o., 2015
Document Type	Výzkumná zpráva
Grant	Non-public resources
Language	cze
Country	CZ
Keywords	magnetron sputtering * thin films * surface properties
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0257670

Number of the records: 1