Number of the records: 1
Laserový systém pro odměřování 3D polohy s nanometrovým rozlišením pro mikroskopy
- 1.
SYSNO ASEP 0385756 Document Type J - Journal Article R&D Document Type Journal Article Subsidiary J Ostatní články Title Laserový systém pro odměřování 3D polohy s nanometrovým rozlišením pro mikroskopy Title Laser system for measurement of the 3D position with nanometre resolution for microscopes Author(s) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAINumber of authors 5 Source Title Jemná mechanika a optika. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - ISSN 0447-6441
Roč. 57, č. 10 (2012), s. 283-286Number of pages 4 s. Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords coordinate position sensing ; nanometrology ; 3D position ; atomic force microscopy ; local probe techniques ; electron microscopy Subject RIV BH - Optics, Masers, Lasers R&D Projects GA102/09/1276 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) TA02010711 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) TE01020233 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministry of Education, Youth and Sports (MEYS) GPP102/11/P820 GA ČR - Czech Science Foundation (CSF) Institutional support UPT-D - RVO:68081731 Annotation Souřadnicové odměřování polohy umožňuje povýšit zobrazovací techniky mikroskopů na kvantifikovatelné měření. Zvláště techniky zobrazování v mikro a nanosvětě, překračující bariéru rozlišení danou vlnovou délkou viditelného světla, jsou vhodnými metodami, na jejichž základě lze konstruovat měřící systémy s nejlepším rozlišením. Mikroskopie atomárních sil, ostatní sondové mikroskopické metody a elektronová mikroskopie se po doplnění o přesné polohování a odměřování polohy sondy a vzorku mohou stát nástrojem pro nanometrologii - měření geometrických veličin v nanosvětě. Popis takového měřícího a polohovacího systému je předmětem tohoto článku. Description in English Coordinate position sensing allows upgrading the imaging microscope techniques up to quantified measuring. Especially imaging techniques in the micro and nanoworld overcoming the barrier of resolution given by the wavelength of visible light are a suitable basis for design of measuring systems with the best resolution possible. Atomic force microscopy, other local probe techniques and electron microscopy when equipped with precision positioning and measurement of the probe and sample may become a tool for nanometrology – measurement of geometrical quantities on the nanoscale. Description of such a measuring and positioning system is a subject of this article. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2013
Number of the records: 1