Number of the records: 1
Direct growth of nanocrystalline diamond field-effect transistor microstructures
- 1.0338150 - FZÚ 2010 RIV US eng A - Abstract
Kozak, Halyna - Kromka, Alexander - Michalíková, Lenka - Rezek, Bohuslav
Direct growth of nanocrystalline diamond field-effect transistor microstructures.
[Přímý růst nanokrystalických diamantových tranzistorových mikrostruktur.]
E-MRS 2009 Spring Meeting. Warrendale, PA: MRS, 2009. s. 23-23. ISBN N.
[E-MRS 2009 Spring Meeting. 08.06.2009-12.06.2009, Strasbourg]
R&D Projects: GA MŠMT LC510; GA MŠMT(CZ) LC06040; GA AV ČR KAN400100701; GA AV ČR(CZ) IAAX00100902
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100521
Keywords : nanocrystalline diamond * microstructures * atomic force microscopy * surface conductivity * field-effect transistor
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Nanocrystalline diamond structures are grown by microwave plasma CVD technique on SiO2/Si substrates patterned by polymer. The diamond microstructures exhibit good transistor characteristics.
Struktury nanokrystalického diamantu jsou deponovány v mikrovlnném plazmatu CVD technikou na Si/SiO2 substrátech strukturovaných polymerem. Diamantové mikrostruktury vykazuji dobré tranzistorové charakteristiky.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0182002
Number of the records: 1