Number of the records: 1
Polovodičový detektor pomalých elektronů prošlých vzorkem
- 1.
SYSNO ASEP 0336638 Document Type L - Prototype, Functional Specimen R&D Document Type Prototype, Functional Specimen RIV Subspecies Functional Specimen Title Polovodičový detektor pomalých elektronů prošlých vzorkem Title Semiconductor detector of slow electrons transmitted through the specimen Author(s) Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Hovorka, Miloš (UPT-D)
Klein, Pavel (UPT-D)Year of issue 2009 Int.Code 5511-1 SResult web page, Location of the result Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Technical parameters Detektor velmi pomalých elektronů prošlých vzorkem se záběrem celé vyzařovací charakteristiky +-90 deg od normály povrchu, rozměr detektoru 5x5 mm, PIN struktura, 100% sběrová účinnost, zesílení až 3000x i při energii elektronů pod 1 eV. Economic parameters Funkční vzor je možné zavést do každého rastrovacího mikroskopu se vzorkem na vysokém potenciálu a realizovat tak režim STEM s velmi nízkou energií. Owner Name Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Registration Number of the result owner 68081731 Applied result category by the cost of its creation A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Use by another entity N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence License fee fee N - Poskytovatel licence nepožaduje licenční poplatek Language cze - Czech Country CZ - Czech Republic Keywords very low energy STEM ; cathode lens Subject RIV JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering R&D Projects IAA100650902 GA AV ČR - Academy of Sciences of the Czech Republic (AV ČR) CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Annotation Polovodičový PIN detektor velmi pomalých prošlých elektronů v rastrovacím mikroskopu s katodovou čočkou, tj. vzorkem na vysokém záporném potenciálu. Detektor zachycuje celou vyzařovací charakteristiku prošlých elektronů urychlených z velmi nízké energie průchodu vzorkem na původní primární energii svazku v řádu keV polem mezi vzorkem a detektorem a tím zajišťuje absolutní sběrovou účinnost. Description in English Semiconductor detector of the PIN type for detection of very slow transmitted electrons in a scanning microscope with the cathode lens, i.e. with the sample biased to a high negative potential. Detector acquires the complete angular distribution of the transmitted electrons accelerated from their very low energy of transmission through the sample to the original primary beam energy in the order of keV, namely by means of the electric field between the sample and detector, securing hence the absolute collection efficiency. Workplace Institute of Scientific Instruments Contact Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Year of Publishing 2010
Number of the records: 1