Number of the records: 1  

Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy

  1. 1.
    0325114 - ÚPT 2009 RIV DE eng J - Journal Article
    Lazar, Josef - Číp, Ondřej - Čížek, Martin - Šerý, Mojmír
    Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy.
    [Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou.]
    tm-Technisches Messen. Roč. 76, č. 5 (2009), s. 253-258. ISSN 0171-8096. E-ISSN 2196-7113
    R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LC06007; GA AV ČR IAA200650504; GA AV ČR KAN311610701; GA MPO 2A-1TP1/127; GA MPO FT-TA3/133; GA MPO 2A-3TP1/113; GA ČR GA102/07/1179; GA MŠMT 2C06012
    Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
    Keywords : Interferometry * local probe microscopy * nanometrology
    Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
    Impact factor: 0.321, year: 2009

    In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed.

    V příspěvku prezentujeme interferometrický monitorovací systém polohy pro odměřování a polohování vzorku pro mikroskopii s lokální sondou. Uspořádání je navrženo pro metrologické aplikace s přímou návazností na základní etalon délky a monitorování ve všech šesti osách volnosti. Je navrženo aktivní řízení polohy.
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0172639

     
     
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.