Hybrid laser deposition systems

0321861 - FZÚ 2009 CZ eng D - Thesis
Novotný, Michal
Hybrid laser deposition systems.
[Hybridní laserové depoziční systémy.]
ČVUT - Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská. Defended: ČVUT - Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská. - Praha: ČVUT - Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská, 2006. 111 s.
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
Keywords : pulsed laser deposition * radiofrequency discharge * electron cyclotron resonance * magnetron sputtering * optical emission spectroscopy
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers

The goal of the thesis is to study three different hybrid laser deposition systems (PLD+radiofrequency discharges, PLD+electron-cyclotron-resonance plasma source and PLD+magnetron sputtering), which are appropriate for preparation of carbon, ZnO:N, and TiC/SiC nanomaterials, respectively. An emphasis is put on determination of the influence of PLD’s auxiliary techniques on film growth and properties.

Disertační práce se zabývá studiem tří různých hybridních laserových depozičních systémů (RF-PLD-kombinace PLD s radiofrekvečními výboji, ECR-PLD-kombinace PLD s elektron-cyklotron-rezonančním zdrojem plazmatu a MS-PLD-kombinace PLD a magnetronového naprašování) a využití jejich možností pro přípravu nanomateriálů (uhlíku, ZnO:N a TiC/SiC). Důraz je kladen na stanovení vlivu přídavných technik používaných v kombinaci s pulsní laserovou depozicí (PLD) na růst a vlastnosti vrstev a na vlastnosti plazmatu.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0170278