Number of the records: 1
Imaging of the boron doping in silicon using low energy SEM
SYS 0205568 LBL 00000nam^^22^^^^^^^^450 005 20210803160813.9 101 0-
$a eng 102 $a NL 200 1-
$a Imaging of the boron doping in silicon using low energy SEM 215 $a 21 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0257685 $1 011 $a 0304-3991 $e 1879-2723 $1 200 1 $a Ultramicroscopy $v Roč. 93, 3/4 (2002), s. 223 - 243 $1 210 $c Elsevier 610 1-
$a electron and ion microscopes 610 1-
$a semiconductor doping 700 -1
$3 cav_un_auth*0101598 $a Müllerová $b Ilona $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0094265 $a El-Gomati $b M. $y GB $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0101547 $a Frank $b Luděk $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Number of the records: 1