Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů

Number of the records: 1

1.

SYSNO	0109114
Title	Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů
Title	Quantitative Study of Dopant Distribution in a Semiconductor Using Secondary Electron Emission
Author(s)	Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Source Title	PDS 2003 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004. s. 39 - 42. - Brno : Ústav přístrojové techniky, 2004 / Müllerová I.
Conference	PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika, Brno, 30.01.2004
Document Type	Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Grant	KJB2065301 GA AV ČR - Academy of Sciences of the Czech Republic (AV ČR)
CEZ	AV0Z2065902 - UPT-D
Language	cze
Country	CZ
Keywords	Secondary Electron Emission * Dopant Distribution * Semiconductors
Permanent Link	http://hdl.handle.net/11104/0016226

Number of the records: 1