Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů

Number of the records: 1

1.

SYSNO ASEP	0109114
Document Type	K - Proceedings Paper (Czech conf.)
R&D Document Type	The record was not marked in the RIV
Title	Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů
Title	Quantitative Study of Dopant Distribution in a Semiconductor Using Secondary Electron Emission
Author(s)	Mika, Filip (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Source Title	PDS 2003 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004. - Brno : Ústav přístrojové techniky, 2004 / Müllerová I. - ISBN 80-239-2268-8 s. 39 - 42
Number of pages	4 s.
Action	PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika
Event date	30.01.2004
VEvent location	Brno
Country	CZ - Czech Republic
Event type	CST
Language	cze - Czech
Country	CZ - Czech Republic
Keywords	Secondary Electron Emission ; Dopant Distribution ; Semiconductors
Subject RIV	JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
R&D Projects	KJB2065301 GA AV ČR - Academy of Sciences of the Czech Republic (AV ČR)
CEZ	AV0Z2065902 - UPT-D
Workplace	Institute of Scientific Instruments
Contact	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Year of Publishing	2005

Number of the records: 1