Number of the records: 1
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů
- 1.0109114 - UPT-D 20040119 CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Mika, Filip
Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů.
[Quantitative Study of Dopant Distribution in a Semiconductor Using Secondary Electron Emission.]
PDS 2003 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004. Brno: Ústav přístrojové techniky, 2004 - (Müllerová, I.), s. 39 - 42. ISBN 80-239-2268-8.
[PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika. Brno (CZ), 30.01.2004]
R&D Projects: GA AV ČR KJB2065301
Institutional research plan: CEZ:AV0Z2065902
Keywords : Secondary Electron Emission * Dopant Distribution * Semiconductors
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0016226
Number of the records: 1