Mikroobrábění elektronovým svazkem

0050983 - ÚPT 2007 cze K - Conference Paper (Czech conference)
Dupák, Libor
Mikroobrábění elektronovým svazkem.
[Electron Beam Micromachining.]
PDS 2006 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronová optika. Brno: ÚPT AV ČR, 2006, s. 9-10. ISBN 80-239-7957-4.
[PDS 2006. Brno (CZ), 19.12.2006]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : electron beam drilling * quartz glass * ceramics
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Článek ukazuje výsledky dosažené při mikroobrábění různých materiálů elektronovým svazkem v roce 2006 na ÚPT v Brně.

This paper shows results achieved by electron beam micromachining of various materials in 2006 at ISI Brno.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0140985