Number of the records: 1  

Growth and Modification of Organosilicon FIlms in PECVD and Remote Afterglow Reactors

  1. SYS0032069
    LBL
      
    02840^^^^^2200265^^^450
    005
      
    20240103182454.9
    100
      
    $a 20060422d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng $d eng
    102
      
    $a DE
    200
    1-
    $a Growth and Modification of Organosilicon FIlms in PECVD and Remote Afterglow Reactors
    215
      
    $a 10 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0420447 $1 011 $a 1612-8850 $e 1612-8869 $1 200 1 $a Plasma Processes and Polymers $v Roč. 3, č. 2 (2006), s. 100-109 $1 210 $c Wiley
    541
    1-
    $a Růst a modifikace organosilikonových vrstev v plasmatických reaktorech $z cze
    610
    0-
    $a FT-IR
    610
    0-
    $a organosilicon precursors
    610
    0-
    $a plasma polymerisation
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0086415 $a Supiot $b P. $y FR
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0216001 $a Vivien $b C. $y FR
    702
    -1
    $3 cav_un_auth*0100958 $a Macková $b Anna $p UJF-V $w Výzkum s iontovými a neutronovými svazky $4 070 $T Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
    702
    -1
    $3 cav_un_auth*0201471 $a Granier $b A. $y FR
    702
    -1
    $3 cav_un_auth*0216063 $a Escaich $b D. $y FR
    702
    -1
    $3 cav_un_auth*0216185 $a Bousquet $b A. $y FR
    702
    -1
    $3 cav_un_auth*0216186 $a Clergereaux $b R. $y FR
    702
    -1
    $3 cav_un_auth*0216187 $a Raynaud $b P. $y FR
    702
    -1
    $3 cav_un_auth*0086410 $a Strýhal $b Z. $y CZ
    702
    -1
    $3 cav_un_auth*0086411 $a Pavlík $b J. $y CZ
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.